金剛石加工困難，而激光加工技術為其提供了解決方案，將激光加工技術應用于金剛石加工，可實現金剛石的高效、高精度加工，今天一起來看看不同激光束類型作用于金剛石表面達到的加工效果存在哪些巨大差異。

微秒激光：脈寬較寬，適用于粗加工

  特點與應用：微秒激光脈寬較寬，通常適用于粗加工。例如，筆者課題組使用波長為 1064nm 的 Nd:YAG 型微秒精密激光切割機完成了金剛石熱沉結構的加工。

  加工效果與影響：其加工時伴隨強烈熱損傷，長脈寬的微秒激光峰值功率在幾千瓦且脈沖持續時間長，導致存在較深的熱影響區。如在加工金剛石時，熱影響區可達 6.8μm。

 脈寬450μs激光得到PCD復合材料的FIB截面圖  圖源：論文

  納秒激光：占據較大市場份額，加工有熱破壞性

  優勢與市場情況：納秒激光具有穩定性好、成本低、加工時間短等優點，在企業生產中廣泛應用，目前占據了較大的市場份額。

  熱影響與相關研究：但納秒激光燒蝕過程對樣品具有熱破壞性，宏觀上表現為加工產生較大的熱影響區。

  南京航空航天大學建立了三維移動納秒脈沖高斯激光燒蝕單晶金剛石的有限元模擬模型，得到不同掃描時間下單晶金剛石內的熱傳導及溫度分布；

   不同掃描時間單晶金剛石內的熱傳導和溫度分布，箭頭表示導熱熱流方向  圖源：論文

  日本慶應義塾大學將納秒激光加工金剛石產生的缺陷分成四類，包括開裂、波紋、變形槽道以及碎屑沉積，并解釋了各種缺陷的產生原因。

  皮秒激光：脈沖持續時間減小，熱影響區損傷降低

  加工特性與優勢：皮秒激光加工既不同于納秒激光的熱平衡燒蝕，也不完全等于飛秒激光的冷加工，脈沖持續時間的顯著減小極大程度地降低了熱影響區帶來的損傷。

  溫邱玲等人使用紅外皮秒激光加工 CVD 單晶金剛石微槽，僅在微槽邊緣存在不規則微小崩邊和微裂紋；

  Nozomi Takayama 等利用皮秒脈沖激光加工具有特殊結構的單晶金剛石刀具，可快速加工出無任何邊緣開裂的刀具。

  作用機制與現象：與納秒激光類似，皮秒激光與金剛石相互作用時也是通過表面石墨化進行，并且隨著皮秒激光能量密度的增加，石墨峰出現明顯的紅移。

  Sergei M. Pimenov 等利用皮秒激光作用于金剛石內部，觀察到金剛石內部產生石墨化現象，并基于此制備了石墨化的微結構陣列，還研究了晶體取向對皮秒激光燒蝕過程的影響，同時發現了 3H 色心、NV 色心的產生，且 NV 色心的熒光由于激光體修飾過程有增強的現象。

 不同激光能量下皮秒激光燒蝕金剛石微槽中心位置處的拉曼光譜  圖源：論文

  飛秒激光：加工精度高，但效率較低

  高精度加工特點：飛秒激光加工精度高，能在極短的脈沖持續時間內，*大程度地避免熱影響區形成，以*小的熱損傷精準加工金剛石表面結構，更適合于金剛石特殊形狀的精細加工。例如，飛秒脈沖激光能在較低的平均功率下產生極高的功率密度，使金剛石晶格中的C-C共價鍵發生解離。

  效率與成本問題：但其加工效率較低，且飛秒激光器自身昂貴的造價及維護成本限制了加工方法的推廣，目前關于飛秒激光加工金剛石的研究大多停留在實驗室階段。與納秒激光相比，飛秒激光加工的表面質量更高，但總體的材料去除速率較低。如韓源等計算得出飛秒激光燒蝕速率比微秒激光燒蝕速率低兩個數量級。

  *后

  不同類型的激光在金剛石加工中各有優劣，研究人員正不斷探索，力求讓激光技術在金剛石加工領域發揮更大作用，推動相關行業發展。